Park JP Webinar #12
圧電応答測定
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パーク・システムズ ウェビナー | #12
パーク・システムズAFMの電気特性アプリケーションの1つであるEFMシリーズには、EFM（静電気力 ）、KPFM（表面電位）、PFM（圧電応答）がありますが、今回はPFMについてお話します。
コンデンサー、アクチュエーター、不揮発性メモリなどに使われる圧電材料は、デバイスとして薄膜化 、微細化がますます進んでいます。PFMは、この微小領域の残留分極の分布を可視化することができ、 分光法によって分極の大きさと方向を1度にみることができます。また、探針と接触する表面に垂直な 成分だけでなく、面内の異なる方向に沿った成分を含む複雑なドメインの方向についても1つの垂直チ ャネルと2つの水平チャネルのベクトルを使って、より正確な情報を提供することができます。
コンデンサー、アクチュエーター、不揮発性メモリなどに使われる圧電材料は、デバイスとして薄膜化 、微細化がますます進んでいます。PFMは、この微小領域の残留分極の分布を可視化することができ、 分光法によって分極の大きさと方向を1度にみることができます。また、探針と接触する表面に垂直な 成分だけでなく、面内の異なる方向に沿った成分を含む複雑なドメインの方向についても1つの垂直チ ャネルと2つの水平チャネルのベクトルを使って、より正確な情報を提供することができます。
EFMは、形状測定の方法によってEFMモードとDynamic Contact EFMモードに大別され、EFMとKPFM がEFMモード、PFMはDynamic Contact EFMモードがベースになっています。
Mica Composite Flake
System: NX10
Scan Mode: ノンコンタクトモード
Scan Size: 2µm x 2µm
Copper Foil
System: NX20
Scan Mode: ノンコンタクトモード
Scan Size: 40µm x 40µm
Graphene/hBN Heterostructure
Moiré Pattern on Graphene
System: NX20
Scan Mode: コンタクトモード
Scan Size: 100nm ×100 nm2
Molecular Network on HOPG
Moiré pattern
System: NX20
Scan Mode: タッピングモード
Scan Size: 400 nm × 400 nm2
Image caption
後藤 千絵
パーク・システムズ・ジャパン株式会社
技術部 分析チーム
1991年から現在まで29年間をAFMと共にしてきた後藤は、2012年にNEDOの研究員として、 千葉大学で燃料電池の研究に携わってきた。日常のデモンストレーション以外にも、これまでに多くのOn Siteセミナー、 ユーザートレーニングの実施や日本の顧客向けにオリジナルガイドブックの作成に手をかけている。
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